高速掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品簡介：

高速掃描電子顯微鏡采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。

產(chǎn)品型號：HEM6000

更新時間：2024-11-19

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：1682

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

熱銷產(chǎn)品

環(huán)境探測儀器便攜式多參數(shù)水質(zhì)分析儀便攜式濁度計原位水質(zhì)監(jiān)測儀氣體流量校準儀皂膜流量計汞標氣動態(tài)發(fā)生器 COD水質(zhì)在線自動監(jiān)測儀多參數(shù)水質(zhì)在線監(jiān)測儀氨氮水質(zhì)在線自動監(jiān)測儀全功能泄漏檢測儀有機碳元素碳分析儀顆粒物綜合采樣器分析天平噪聲儀水、油、氣流量標定校準裝置空氣采樣器氣體流量計反應(yīng)釜萃取儀礦用高壓變頻器礦用履帶式消防機器人消防滅火機器人紫外可見分光光度計廢紙水分測量儀微波水分儀近紅外水分儀 *型精密天平 *型分析天平電導(dǎo)率儀顯微熔點儀準微量天平三重四極桿質(zhì)譜聯(lián)用儀超聲波風速風向儀全自動清洗機紅外分光測油儀電氣測試儀溶解氧測定儀便攜式溶氧儀便攜式比色計可見光分光光度計在線鉑鈷色度檢測儀鈉離子分析儀濁度分析儀總有機碳（TOC）分析儀臭氧分析儀 COD檢測儀水質(zhì)重金屬測定儀水硬度檢測儀余氯總氯在線測定儀多參數(shù)在線水質(zhì)分析儀氨氮測定儀溫壓流檢測儀全自動液液萃取儀地下水位水質(zhì)在線監(jiān)測監(jiān)控系統(tǒng) 熱成像測溫儀一體式水質(zhì)測定儀便攜式VOC檢測儀圓盤旋光儀無線藍牙溶解氧儀筆式鹽度計無線藍牙電導(dǎo)率儀便攜式水質(zhì)硬度計便攜式離子濃度計 ORP計加熱磁力攪拌器便攜式濁度儀土壤pH計 900P水質(zhì)分析儀變頻器一體化UPS電源電力UPS電源 UPS電源無人機VOCs熱成像儀 *型雙量程大稱量天平自動雙量程*型精密天平 VOCs光學氣體成像熱像儀全自動voc樣品預(yù)處理器激光co氣體分析儀安全柜手持測溫熱像儀可視測溫熱像儀地下水采樣監(jiān)測系統(tǒng) 時間繼電器測試儀 SDR紅外測溫儀微風風速儀投入式液位變送器多普勒超聲波流量計頂空自動進樣器濁度傳感器實驗室廢水處理機短波紅外熱成像儀中波紅外熱成像儀長波強磁場專用型紅外熱成像儀長波紅外熱成像儀便攜式紅外熱像儀手持式元素分析儀元素分析儀高溫井下壓差傳感器高溫壓力傳感器裝載機與用壓力傳感器試驗機專用型壓力傳感器離子束濺射薄膜壓力傳感器空氣降塵在線監(jiān)測儀射線衍射（XRD）分析儀在線X射線熒光（XRF）分析儀手持式X射線熒光光譜儀體視顯微鏡半導(dǎo)體與平板顯示器檢測顯微鏡光學顯微鏡數(shù)碼顯微鏡激光共焦顯微鏡工業(yè)纖維內(nèi)窺鏡工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡手持式測厚儀探傷儀雙目融合熱成像儀消防熱成像頭盔總有機碳分析儀地下水采樣器個人劑量報警儀水位尺取樣器恒溫冰箱冷藏箱多氣體分析儀機動車測速儀氣體探測器油煙檢測儀顆粒物監(jiān)測儀固/液樣品預(yù)處理系統(tǒng) 多參數(shù)水質(zhì)測定儀人體測溫儀測氡儀防爆終端油氣回收智能檢測儀材料負離子測定儀 VOC在線監(jiān)測系統(tǒng) 實驗室廢水廢液處理紅外光譜儀土壤重金屬分析儀紅外熱成像儀美國Versa頂空進樣器便攜式地下水流速流向儀手持XRF-X射線熒光儀Vanta 建筑工地大氣顆粒物監(jiān)測儀高速攝像機實驗室全自動洗瓶機風速風量儀微流體流變測量粘度計

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產(chǎn)品介紹

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。
高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

圖像采集速度

10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速電壓

100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)

分辨率

1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE

視場大小

最大視場1*1 mm2，高分辨微畸變視場32*32 um2

樣品臺精度

重復(fù)定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

高速掃描驅(qū)動器

駐點時間10 ns/pixel，

最快采集速度2*100 M pixel/s

電子過濾系統(tǒng)

SE/BSE信號自由切換，

MIX成像信號比例可調(diào)

全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)

可實現(xiàn)高分辨大場模式，

4 nm像素點最大視場達32*32 um2

樣品臺減速技術(shù)

降低入射電子落點電壓，

同時提高回收電子的收集效率

浸沒式電磁復(fù)合物鏡

物鏡磁場浸沒樣品

實現(xiàn)了低像差高分辨率

產(chǎn)品優(yōu)勢

高速自動化

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

大場低畸變

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

低壓高分辨

樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體工業(yè)

生命科學

材料科學

地質(zhì)科學

應(yīng)用案例

芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns

芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns

生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 116x / BSE / 120 ns

指標	HEM6000	常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡
像素尺寸(單張)	8192*8192
像素點時間	120 ns（點/行/幀平均數(shù)：6/2/1）	800 ns
像素大小	16 nm
拍攝總面積	2 mm2
拍攝總時間	25分32秒	>140分

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率		1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
			2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
	加速電壓		100 V~6 kV(減速模式)
			6 kV~30 kV(非減速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	電子槍類型		高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
	物鏡類型		浸沒式電磁復(fù)合物鏡
樣品裝載系統(tǒng)	真空系統(tǒng)		全自動控制，無油真空系統(tǒng)
	樣品監(jiān)控		樣品倉監(jiān)控水平攝像頭；換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭
	樣品最大尺寸		直徑4英寸
	樣品臺	類型	電機驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺）
		行程	X、Y軸：110mm； Z軸：28mm；
		重復(fù)定位精度	X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm；
	換樣方式		全自動控制
	換樣時間		＜15 min
	換樣倉清洗		全自動控制等離子清洗系統(tǒng)
圖像采集與處理	駐點時間		10 ns/pixel
	圖像采集速度		2*100 M pixel/s
	圖像大小		8K*8K
探測器和擴展	標配		鏡筒內(nèi)混合電子探測器
	選配		低角度背散射電子探測器
			鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器
			壓電驅(qū)動樣品臺
			高分辨大場模式
			樣品倉等離子清洗系統(tǒng)
			6英寸樣品裝載系統(tǒng)
			主動減震臺
			AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
軟件	語言		中文
	操作系統(tǒng)		Windows
	導(dǎo)航		光學導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
	自動功能		自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散