Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。

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更新時間：2024-11-20

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Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。在3分鐘內(nèi)掃描并顯示150毫米晶圓。可以標刻出缺陷的位置，以便進一步分析。可容納高達300 x 300 mm的非圓形和易碎基板。能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。