自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)

借助F54-XY-200光譜反射系統(tǒng)，可以輕松地測(cè)量尺寸達(dá)200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供厚度測(cè)量，達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測(cè)量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。

圖案表面的顯微測(cè)量

F54-XY-200薄膜厚度測(cè)量儀具有集成的顯微鏡和實(shí)時(shí)攝像頭，可以精確監(jiān)控膜厚測(cè)量點(diǎn)。小尺寸的測(cè)量光斑允許測(cè)量有圖案的樣品，并且可以改良在較粗糙的材料上的測(cè)量性能。

FILMAPPER軟件-測(cè)量自動(dòng)化測(cè)繪模式生成器

F54-XY-200薄膜厚度測(cè)量儀內(nèi)置的測(cè)繪圖案生成器使您可以輕松的生成測(cè)量樣品相關(guān)區(qū)域所需的坐標(biāo)圖案，從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集時(shí)間。以下是您可以調(diào)整的自定義測(cè)繪屬性的一些參數(shù):

• 樣品形狀:圓形或矩形

• 徑向，矩形或線性圖案

• 中心和邊緣去除

• 點(diǎn)密度